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      智能動態配氣儀
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      智能動態配氣儀

      產品型號
      YP-PQY
      產品價格
      38000元
      咨詢立享優惠
      【產品簡介】標配2路通道、讀數精度士0.8%、稀釋比1000:1、重復性<士0.2%FS

      產品詳情

      一、氣體動態稀釋儀特點

      高精度、高分辨率控制

      低功率(功率大小取決于配氣路數)

      各路 MFC 集成 20 種基礎氣體種類

      各路 MFC 可自定義 10 種混合氣體(20 種基礎氣體種類按比例混合)

      數字化控制,RS-485 Modbus RTU 通信模式

      寬流量量程范圍

      無需預熱

      無安裝方向限制

      具有高重復性和高可靠性

      采用電磁比例閥,使用壽命長,響應速度快

      自帶溫度補償,補償范圍 0-50℃

      內部閉環控制,具有高穩定性

      小封裝尺寸

      二、量程及精度簡介

      稀釋比:最高 1000:1(更高稀釋比建議咨詢廠家)

      各路 MFC 滿量程精度:±0.2%

      各路 MFC 讀取精度:±0.8%

      各路 MFC 可重復性:±0.2%FS

      各路 MFC 響應時間:<100ms(調節 PID控制參數可縮短響應時間),數字式設計簡介

      動態稀釋儀內部配置了高精度質 量流量控制器(MFC),各路 MFC 標配高精度傳

      感器和數字電路,數字電路可完成測量及控制所需的所有基本功能。質量流量控制器采用標準的RS-485 Modbus RTU 通信模式。

      三、應用領域

      氣相和液相色譜儀

      半導體工藝

      環境監測設備

      微反應裝置及材料制備實驗裝置(CVD)

      氣體發生器

      配氣混氣系

      四、功能介紹

      流量控制 ---可實現高精度、高重復性、多種氣體質量流量控制。

      獨立使用  ---無需連接任何設備,可通過屏幕完成大部分功能操作。

      多種量程選擇  ---根據稀釋比需求各路 MFC 量程最小量程 10sccm,最大量程 50slpm 可選。

      內置 20 種基本氣體 ---各路 MFC 內置 20 種基本氣體,氣體種類可定制。

      10 種自定義混合氣 ---各路 MFC 可根據使用需求,自定義混合氣。

      電氣接口  ---標準配置 1 個 AC220V 三項插座

      控制方式  ---屏幕使用 RS-485 通信與內部 MFC 進行通信。

      標準 Modbus-RTU  ---RS-485 通信采用標準 Modbus-RTU 通信協議。

      五、技術參數

      1.運行參數

      各路 MFC 讀數精度  ±0.8% Rdg

      各路 MFC 滿量程精度 ±0.2% FS

      各路 MFC 重復性 <±0.2% FS

      各路 MFC 零點漂移和滿量程漂移 <±0.02% FS/℃/Atm

      稀釋比 1000:1

      各路 MFC 典型響應時間 <100 毫秒(可調節 PID 參數達到更短時間)

      各路 MFC 啟動預熱時間 <1 秒

      各路 MFC 標準工況 20℃&101.325kPa(標準工況溫度可通過 RS485 調整)

      各路耐壓 1 MPa

      安裝方向要求 無

      電氣參數 工作電壓 AC 220V±15%

      功率 取決于配氣儀路數

      數字控制信號 RS-485 Modbus-RTU

      電信號接口 AC220V 三項插座

      2.物理參數

      各路 MFC 閥門  比例閥(常閉)

      各路 MFC 通過介質 干燥氣體

      各路 MFC 工作溫度 0-50℃

      各路 MFC 傳感器溫度補償范圍 0-50℃

      各路 MFC 工作濕度 0-100%(非冷凝)

      存儲溫度 -40~85℃

      各路 MFC 泄漏率 <0.020sccm He (壓差 150psi)



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